湖南大學的黑科技是什麼原理?1nm級晶片,不依賴高精度光刻機?

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摘要:前幾天,網上有一則消息刷屏了,那就是眾多媒體報導稱,湖南大學的研究團隊,成功的實現了超短溝道的垂直場效應電晶體。更重要的是,以往的晶片製造中,晶片工藝的提升,是高度依賴光刻機的精度的,比如7nm及以下的晶片,就要求EUV光刻機。而湖南大學的這種垂直場效應電晶體,由於排列方式的不同,並不完全依賴於高精度的光刻機,考慮到目前國內根本就買不到EUV光刻機,而國產光刻機精度還在90nm。

前幾天,網上有一則消息刷屏了,那就是眾多媒體報導稱,湖南大學的研究團隊,成功的實現了超短溝道的垂直場效應電晶體(VFET)。

這種電晶體科技,可以把電晶體做到3nm大小,而溝道長度只需要0.65nm,幾乎只有一個原子的大小。

而我們知道,在以往的晶片工藝中,溝道長度代表的就是晶片制程,也就是說0.65nm的溝道長度,就意味著0.65nm的晶片工藝。

要知道國內現時的科技還是14nm,台積電還在5nm,突然湖南大學搞出一個0.65nm,確實讓人挺震驚的。

更重要的是,以往的晶片製造中,晶片工藝的提升,是高度依賴光刻機的精度的,比如7nm及以下的晶片,就要求EUV光刻機。

而湖南大學的這種垂直場效應電晶體,由於排列方式的不同,並不完全依賴於高精度的光刻機,考慮到目前國內根本就買不到EUV光刻機,而國產光刻機精度還在90nm。

所以這個新聞一出來,不火爆才怪呢。當然,也有人持懷疑態度,說過去的幾年,關於國產芯各種突破,各種打破壟斷,最後都全是吹牛皮,所以這個水分很大,不可信。

那麼這則消息是真的麼?確實是真的,大家可以去湖南大學的官網上看到,同時相關的論文發表在了國際頂尖雜誌《Nature Electronics》上面,中文譯為《自然·電子學》

但是要說明的是,這個還只是實驗室的產物,真正要走向量產,走到生產車間用於工廠批量生產,可能還得很久。

那以這種技術的原理究竟是什麼?我們要說說以往的晶片構成,我們知道晶片都是由電晶體組成的,而電晶體在晶片中均是平行排列的,所以提高晶片制程,其實也是怎麼縮小電晶體與電晶體之間的距離,縮小電晶體的大小,那麼這就要用到高精度的光刻機。

而湖南大學團隊研究的是另外一種科技,就是垂直場效應電晶體,簡單的來講,就是電晶體不是平行排列的,是垂直排列的。這種縱向的結構具有天然的短溝道特性,電晶體溝道位於底電極與頂部電極之間,溝道長度僅取決於資料厚度。

平行結構的溝道長度

垂直結構的溝道長度

而湖南大學的研究人員採用了範德華(vdW)金屬電極集成方法,以二硫化鉬(MoS2)作為電晶體溝道的薄層甚至單原子層,也就是說溝道長度,其實就是一層二硫化鉬資料的厚度,所以最短達到了0.65nm。

而垂直排列的電晶體,也不需要利用到高精度光刻機,來縮短電晶體與電晶體之間的距離,搭積木式的一層一層往上壘就行了,這就是不需要高精度光刻機的原因。

垂直結構的積木,中間間隔特別小

事實上,一直以來都有科學家在研發這種垂直場效應的電晶體,湖南大學不是第一個研究的,但以往大家沒有找到好的資料,所以這種電晶體垂直排列時,會受到垂直隧穿電流的影響,導致是只要在10nm以下時,就不受柵極調控,沒法實現。

而這次湖大團隊是以範德華(vdW)金屬電極集成方法,以二硫化鉬(MoS2)為資料,形成理想的範德華金屬-電晶體介面,才實現到了0.65nm的厚度,讓這項科技變為可行。

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